Alfa Laval - Wafer preparation

Wafer preparation

エレクトロニクス分野において、ウェハは結晶シリコンなどの半導体素材を薄くスライスしたものであり、集積回路やその他のマイクロデバイスの製造に使用されます。ワイヤーソーを使用してシリコンインゴットをウェハ状にカットする際に、切削用スラリーを冷却する必要があります。アルファ・ラバルは、コンパクトかつ安定したソリューションを提供して高い熱交換効率を実現します。

Slurry recovery 640x360

ウェハの内部や表面には電気回路が作り込まれており、超小型電子機器の回路基板として機能します。ウェハは、ドーピング やイオン注入、エッチング、さまざまな材料の薄膜形成、フォトリソグラフィによるパターン形成など多くの微細加工工程を経て、最終的に個別の超小型回路が分離されて(ダイシング)、パッケージに組み込まれます。

アルファ・ラバルの熱交換器ラインナップでの最適なソリューション は、ガスケットプレート式熱交換器、100%ステンレス製の熱交換器であるAlfaNova、ブレージングプレート式熱交換器です。これらはすべてコンパクトかつ安定した製品で、高い熱交換効率を実現します。