純水の冷却

高い清浄度が要求される工程では超純水が必要になります。アルファ・ラバル製プレート式熱交換器の製品ラインナップでは、特定の要求事項と需要に応えるために設計されたプレートとガスケットを用意しています

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半導体製造業での一般的な製造方法では適切な温度に制御された大量の超純水(UPW)およびプロセス冷却水(PCW)が消費されます。このようなアプリケーション向けに用意されたアルファ・ラバルのさまざまなガスケットプレート式熱交換器および溶接型プレート式熱交換器(AlfaRex 、Compabloc、Duroshellなど)が、お客様の要求事項に確実に応えます。

超純水(UPW)はマイクロチップの製造工程で幅広く使用されています。超純水が必要となる高い清浄度の工程では標準的なPCWは使用できません。アルファ・ラバルのチタン製プレートを使用した全溶接型プレート式熱交換器を使用することにより、超純水の清浄度が確保されます。